Galvanometer Technology

灵活性、速度、精度和可靠性无与伦比

  • 电机速度业界最快,漂移小、长期稳定性好

  • 精度和准确性一流,扫描输出品质高

  • 镜片尺寸和镜片镀膜范围广

  • 机型紧凑、封装尺寸小,易于在狭小空间内集成

  • 所提供的产品种类多,包含高性能产品,直至经济型产品

产品与性能

产品

62xxH 系列 XY 振镜模块

83xxK 系列 XY振镜模块

特色

外形紧凑、热效率高,轴承寿命长,在狭小空间实现高速、高可靠性扫描。

具有 62xxH 系列的全部优势,其噪音和漂移更低,稳定性和分辨率更好。

波长选项

355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 μm - 10.6 μm
宽谱镀膜:350 nm – 12 μm

最大扫描角度

40°

小角度阶跃响应 1
(常规)

100 μs - 200 μs

线性度

最小为 99.9%,超过 20°
通常为 99.5%,超过 40°

比例漂移
(最大)

50 ppm/°C

15 ppm/°C

零点漂移
(最大)

15 μrad/°C

5 μrad/°C

重复精度

8 μrad

兼容型伺服驱动器

模拟系列:671、672、673
数字系列:DC900、DC2000、DC3000 Plus

XY 振镜体框线图 单击此处,下载 XY 振镜体的框线图
数据表 62xxH 系列扫描振镜电机 | 83xxK 系列扫描振镜电机
注意:

除非另有说明,否则所有角度均为机械角度。
1. 0.1°步距并稳定在最终位置的99%。需要使用 Cambridge Technology 伺服控制板。

产品

62xxH 系列 XY 振镜模块

83xxK 系列 XY振镜模块

特色

尺寸紧凑、可靠、经济、性能经过优化,适用于矢量标刻应用。

针对精密的微加工应用,以及严苛的标刻应用,83xxK 可提供更高的精度和分辨率。

波长选项

355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 μm - 10.6 μm
宽带镀膜:350 nm – 12 μm

最大扫描角度

40°

小角度阶跃响应 1
(常规)

250 μs - 500 μs

线性度

最小为 99.9%,超过 20°
通常为 99.5%,超过 40°

比例漂移
(最大)

50 ppm/°C

15 ppm/°C

零点漂移
(最大)

15 μrad/°C

5 μrad/°C

重复精度

8 μrad

兼容型伺服驱动器

模拟系列:671、673
数字系列:DC900、DC2000、DC3000 Plus

XY 振镜体框线图 单击此处,下载 XY 振镜模块的轮廓图
数据表 62xxH 系列扫描振镜电机 | 83xxK 系列扫描振镜电机
注意:

除非另有说明,否则所有角度均为机械角度。
1. 0.1°步距并稳定在最终位置的99%。需要使用 Cambridge Technology 伺服控制板。

产品

62xxH 系列 XY 振镜模块

83xxK 系列 XY振镜模块

特色

解决方案业内领先,能够可靠地驱动大负载,适用于所有常规的加工应用。 

稳定性更好、分辨率更高,可满足大工作范围应用和精密材料加工的要求。

波长选项

355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 μm - 10.6 μm
宽带镀膜:350 nm – 12 μm

最大扫描角度

40°

小角度阶跃响应 1
(常规)

1 ms - 5 ms

线性度

最小为 99.9%,超过 20°
通常为 99.5%,超过 40°

比例漂移
(最大)

50 ppm/°C

15 ppm/°C

零点漂移
(最大)

15 μrad/°C

5 μrad/°C

重复精度

8 μrad

兼容型伺服驱动器

模拟系列:671、673
数字系列:DC900、DC2000、DC3000 Plus

XY 振镜体框线图 单击此处,下载 XY 振镜体的框线图
数据表 62xxH 系列扫描振镜电机 | 83xxK 系列扫描振镜电机
注意:

除非另有说明,否则所有角度均为机械角度。 
1. 0.1°步距并稳定在最终位置的99%。需要使用 Cambridge Technology 伺服控制板。

Bob Hyman, Sales Representative (USA)

“客户总能做出决定,决定把自己的业务带到其他地方;但客户选择了我们。我喜欢合作,我喜欢迎接挑战,迎接超越客户预期的挑战。”

Bob Hyman
销售代表(美国)

62xxH 系列 扫描仪使用广泛,被视为是振镜型光学激光扫描的行业标准。我们先进的解决方案是采用专属技术制作的,该技术可靠、强大且经济,适用于众多的扫描应用。

针对精度等级要求更高的应用,83xxK 系列产品采用了专属的位置检测器技术——在产品设计中集成——这可确保分辨率高、长期稳定性好。