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Galvanometer Technology

灵活性、速度、精度和可靠性无与伦比

  • 电机速度业界最快，漂移小、长期稳定性好

  • 精度和准确性一流，扫描输出品质高

  • 镜片尺寸和镜片镀膜范围广

  • 机型紧凑、封装尺寸小，易于在狭小空间内集成

  • 所提供的产品种类多，包含高性能产品，直至经济型产品

产品与性能

产品

62xxH 系列 XY 振镜模块

83xxK 系列 XY振镜模块
特色

外形紧凑、热效率高，轴承寿命长，在狭小空间实现高速、高可靠性扫描。

具有 62xxH 系列的全部优势，其噪音和漂移更低，稳定性和分辨率更好。
波长选项

355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 μm - 10.6 μm
宽谱镀膜：350 nm – 12 μm
最大扫描角度

40°
小角度阶跃响应 1
（常规）

100 μs - 200 μs
线性度

最小为 99.9%，超过 20°
通常为 99.5%，超过 40°
比例漂移
（最大）

50 ppm/°C

15 ppm/°C
零点漂移
（最大）

15 μrad/°C

5 μrad/°C
重复精度

8 μrad
兼容型伺服驱动器

模拟系列：671、672、673
数字系列：DC900、DC2000、DC3000 Plus
XY 振镜体框线图 单击此处，下载 XY 振镜体的框线图
数据表 62xxH 系列扫描振镜电机 | 83xxK 系列扫描振镜电机
注意：

除非另有说明，否则所有角度均为机械角度。
1. 0.1°步距并稳定在最终位置的99%。需要使用 Cambridge Technology 伺服控制板。
产品

62xxH 系列 XY 振镜模块

83xxK 系列 XY振镜模块
特色

尺寸紧凑、可靠、经济、性能经过优化，适用于矢量标刻应用。

针对精密的微加工应用，以及严苛的标刻应用，83xxK 可提供更高的精度和分辨率。
波长选项

355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 μm - 10.6 μm
宽带镀膜：350 nm – 12 μm
最大扫描角度

40°
小角度阶跃响应 1
（常规）

250 μs - 500 μs
线性度

最小为 99.9%，超过 20°
通常为 99.5%，超过 40°
比例漂移
（最大）

50 ppm/°C

15 ppm/°C
零点漂移
（最大）

15 μrad/°C

5 μrad/°C
重复精度

8 μrad
兼容型伺服驱动器

模拟系列：671、673
数字系列：DC900、DC2000、DC3000 Plus
XY 振镜体框线图 单击此处，下载 XY 振镜模块的轮廓图
数据表 62xxH 系列扫描振镜电机 | 83xxK 系列扫描振镜电机
注意：

除非另有说明，否则所有角度均为机械角度。
1. 0.1°步距并稳定在最终位置的99%。需要使用 Cambridge Technology 伺服控制板。
产品

62xxH 系列 XY 振镜模块

83xxK 系列 XY振镜模块
特色

解决方案业内领先，能够可靠地驱动大负载，适用于所有常规的加工应用。 

稳定性更好、分辨率更高，可满足大工作范围应用和精密材料加工的要求。
波长选项

355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 μm - 10.6 μm
宽带镀膜：350 nm – 12 μm
最大扫描角度

40°
小角度阶跃响应 1
（常规）

1 ms - 5 ms
线性度

最小为 99.9%，超过 20°
通常为 99.5%，超过 40°
比例漂移
（最大）

50 ppm/°C

15 ppm/°C
零点漂移
（最大）

15 μrad/°C

5 μrad/°C
重复精度

8 μrad
兼容型伺服驱动器

模拟系列：671、673
数字系列：DC900、DC2000、DC3000 Plus
XY 振镜体框线图 单击此处，下载 XY 振镜体的框线图
数据表 62xxH 系列扫描振镜电机 | 83xxK 系列扫描振镜电机
注意：

除非另有说明，否则所有角度均为机械角度。 
1. 0.1°步距并稳定在最终位置的99%。需要使用 Cambridge Technology 伺服控制板。
Bob Hyman, Sales Representative (USA)

“客户总能做出决定，决定把自己的业务带到其他地方；但客户选择了我们。我喜欢合作，我喜欢迎接挑战，迎接超越客户预期的挑战。”

Bob Hyman
, 
销售代表（美国）
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62xxH 系列 扫描仪使用广泛，被视为是振镜型光学激光扫描的行业标准。我们先进的解决方案是采用专属技术制作的，该技术可靠、强大且经济，适用于众多的扫描应用。

针对精度等级要求更高的应用，83xxK 系列产品采用了专属的位置检测器技术——在产品设计中集成——这可确保分辨率高、长期稳定性好。