灵活性、速度、精度和可靠性无与伦比
电机速度业界最快,漂移小、长期稳定性好
精度和准确性一流,扫描输出品质高
镜片尺寸和镜片镀膜范围广
机型紧凑、封装尺寸小,易于在狭小空间内集成
所提供的产品种类多,包含高性能产品,直至经济型产品
产品与性能
产品 | 62xxH 系列 XY 振镜模块 |
83xxK 系列 XY振镜模块 |
特色 | 外形紧凑、热效率高,轴承寿命长,在狭小空间实现高速、高可靠性扫描。 |
具有 62xxH 系列的全部优势,其噪音和漂移更低,稳定性和分辨率更好。 |
波长选项 | 355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 μm - 10.6 μm |
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最大扫描角度 | 40° |
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小角度阶跃响应 1 (常规) |
100 μs - 200 μs |
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线性度 | 最小为 99.9%,超过 20° |
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比例漂移 (最大) |
50 ppm/°C |
15 ppm/°C |
零点漂移 (最大) |
15 μrad/°C |
5 μrad/°C |
重复精度 | 8 μrad |
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兼容型伺服驱动器 | 模拟系列:671、672、673 |
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XY 振镜体框线图 | 单击此处,下载 XY 振镜体的框线图 | |
数据表 | 62xxH 系列扫描振镜电机 | 83xxK 系列扫描振镜电机 | |
注意: | 除非另有说明,否则所有角度均为机械角度。 |
产品 | 62xxH 系列 XY 振镜模块 |
83xxK 系列 XY振镜模块 |
特色 | 尺寸紧凑、可靠、经济、性能经过优化,适用于矢量标刻应用。 |
针对精密的微加工应用,以及严苛的标刻应用,83xxK 可提供更高的精度和分辨率。 |
波长选项 | 355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 μm - 10.6 μm |
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最大扫描角度 | 40° |
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小角度阶跃响应 1 (常规) |
250 μs - 500 μs |
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线性度 | 最小为 99.9%,超过 20° |
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比例漂移 (最大) |
50 ppm/°C |
15 ppm/°C |
零点漂移 (最大) |
15 μrad/°C |
5 μrad/°C |
重复精度 | 8 μrad |
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兼容型伺服驱动器 | 模拟系列:671、673 |
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XY 振镜体框线图 | 单击此处,下载 XY 振镜模块的轮廓图 | |
数据表 | 62xxH 系列扫描振镜电机 | 83xxK 系列扫描振镜电机 | |
注意: | 除非另有说明,否则所有角度均为机械角度。 |
产品 | 62xxH 系列 XY 振镜模块 |
83xxK 系列 XY振镜模块 |
特色 | 解决方案业内领先,能够可靠地驱动大负载,适用于所有常规的加工应用。 |
稳定性更好、分辨率更高,可满足大工作范围应用和精密材料加工的要求。 |
波长选项 | 355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 μm - 10.6 μm |
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最大扫描角度 | 40° |
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小角度阶跃响应 1 (常规) |
1 ms - 5 ms |
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线性度 | 最小为 99.9%,超过 20° |
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比例漂移 (最大) |
50 ppm/°C |
15 ppm/°C |
零点漂移 (最大) |
15 μrad/°C |
5 μrad/°C |
重复精度 | 8 μrad |
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兼容型伺服驱动器 | 模拟系列:671、673 |
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XY 振镜体框线图 | 单击此处,下载 XY 振镜体的框线图 | |
数据表 | 62xxH 系列扫描振镜电机 | 83xxK 系列扫描振镜电机 | |
注意: | 除非另有说明,否则所有角度均为机械角度。 |