2-Axis Scan Head

扫描振镜性能优、系列范围广、让您尽享优势

  • 处理速度业内最快,产能最大

  • LXP 与 LightningTM II 型产品具有进行高速扫描的预测型扫描控制功能

  • 适用于精度高、稳定性高的精密型扫描应用

  • 针对特定的应用,拥有经济实惠、高性能的可选配置

产品与性能

产品

ProSeries 1

ProSeries 2

LXP Hybrid

LightningTM II Digital

特色

加加工速度快、应用于广泛的应用领域

加工精度高,应用于要求精密扫描的应用领域。

加工速度最快,自动调谐,系统性能和效率最高。

加工精度和速度最高,定位分辨率达 24 位。

波长选项

355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 μm - 10.6 μm 
宽带镀膜:350 nm – 12 μm

孔镜尺寸

    7 mm | 10 mm | 14 mm

     7 mm | 10 mm | 14 mm

    7 mm | 10 mm | 14 mm

14 mm

扫描角度

  ± 20° |  ± 22° | ± 22°

  ± 20° |   ± 22° | ± 22°

  ± 20° |  ± 22°  | ± 22°

± 22°

常规标刻速度 1
(m/s)

  4.0 |   3.1    | 2.5

  3.5 |    2.9    | 1.7

  6.5 |    5.0   | 4.0

8

常规写入速度 1,2
(cps)

1100 |  1000 | 890

1000 |   650    | 550

1350 |  1100  | 950

N/A

阶跃响应 3,4
(µsec)

  185 |   220  | 280

  230 |   340   | 360

  185 |   220  | 280

360

重复精度 5,6
(µrad)

  20 |    16    | 12

  15 |    15   | 12

  30 |    25   | 20

2

命令解析

16 位

16 位

16 位

24 位

长期漂移 7,8

位置漂移:<200 µrad
增益漂移:<200 ppm

位置漂移:<100 µrad
增益漂移:<100 ppm

位置漂移:<200 µrad
增益漂移:<200 ppm

 

10 µrad

热漂移

位置漂移:<25 µrad/°C
增益漂移:<50 ppm/°C

位置漂移:<20 µrad/°C
增益漂移:<50 ppm/°C

位置漂移:<25 µrad/°C
增益漂移:<50 ppm/°C

2 µrad

模块化或封闭式

封闭式

封闭式

封闭式

模块化

数据表 ProSeries 1 扫描振镜
注意:

所有角度均为光学角度,除非另有说明。

1.160 mm F-Theta 聚焦镜头用于标记和打标速度测试。

2.单笔划 1 mm 字符、SIMPLEX 字体。

3.对于 ProSeries 和 LXP 扫描振镜:假定步长为全量程的 1%。 

4.对于LightningTM II 扫描振镜:假定步长为 10 mrad。

5.对于 ProSeries 和 LXP 扫描振镜:平均值 <3 sigma(各轴)。

6.对于 LightningTM II 扫描振镜:RMS、各轴。

7.针对 ProSeries 和 LXP 扫描振镜: 预热 30 分钟之后,在操作 24 小时过程之中,各轴。

8.针对 LightningTM II 扫描振镜:预热 30 分钟之后,在操作 8 小时过程之中,各轴。

产品

ProSeries 2

LightningTM II

特色

精度高;适用于大孔径应用。

加工精度和速度最高;位置分辨率达 24 位。

波长选项

355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 μm - 10.6 μm 
宽带镀膜:350 nm – 12 μm

孔镜尺寸

20 mm | 25 mm

20 mm | 25 mm | 27 mm | 30 mm

扫描角度

± 20° | ± 15°

± 20° | ± 17° | ± 18° | ± 22°

常规处理速度 1

1.0 m/s | 0.9 m/s

50 rad/sec

阶跃响应 2,3
(µsec)

800 | 900

370 | 360 | 450 | 550

命令解析

16 位

24 位

重复精度 4,5
(µrad)

12 | 12

<1

长期漂移 6,7

位置漂移:<100 µrad
增益漂移:<100 ppm

10 µrad

热漂移

位置漂移:<20 µrad/°C
增益漂移:<50 ppm/°C

2 µrad opt/°C

模块化或封闭式

封闭式

模块化

数据表 ProSeries 2 大孔径扫描振镜
注意:

所有角度均为光学角度,除非另有说明。

1. 160 mm F-Theta 聚焦镜头用于标记和打标速度测试。

2.单笔划 1 mm 字符、SIMPLEX 字体。 

3.对于 ProSeries 和 LXP 扫描振镜:假定步长为全量程的 1%。

4.对于LightningTM II 扫描振镜:假定步长为 10 mrad。

5.对于 ProSeries 和 LXP 扫描振镜:平均值 <3 sigma(各轴)。

6.对于 LightningTM II 扫描振镜:RMS、各轴。

7.针对 ProSeries 和 LXP 扫描振镜: 预热 30 分钟之后,在操作 24 小时过程之中,各轴。

8.针对 LightningTM II 扫描振镜:预热 30 分钟之后,在操作 8 小时过程之中,各轴。

Jessica

“我喜欢与客户直接合作,超越极限、推动创新,用设计赢取其应用。”

Jessica Zhang
工程总监(中国)

LightningTM II 扫描振镜具有最快的速度和最高的精度,适用于先进的工业与电子应用,如:激光钻孔、增材制造和精密微加工。LXP 系列针对高速打标、打码和标识进行了优化。 ProSeries 扫描振镜采用了我们独有的成熟的模拟技术控制,最适用于高精度标刻、划线、蚀刻和雕刻等应用。大孔径的扫描振镜产品适用于塑料焊接、微加工、钻孔等应用。我们所有的扫描振镜经过设计和优化,能够与 Cambridge Technology 控制器和软件完美结合使用。