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扫描振镜性能优、系列范围广、让您尽享优势
处理速度业内最快，产能最大
LXP 与 LightningTM II 型产品具有进行高速扫描的预测型扫描控制功能
适用于精度高、稳定性高的精密型扫描应用
针对特定的应用，拥有经济实惠、高性能的可选配置
产品与性能
| 产品 | ProSeries 1 |
ProSeries 2 |
LXP Hybrid |
LightningTM II Digital |
| 特色 | 加加工速度快、应用于广泛的应用领域 |
加工精度高，应用于要求精密扫描的应用领域。 |
加工速度最快，自动调谐，系统性能和效率最高。 |
加工精度和速度最高，定位分辨率达 24 位。 |
| 波长选项 | 355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 μm - 10.6 μm |
|||
| 孔镜尺寸 | 7 mm | 10 mm | 14 mm |
7 mm | 10 mm | 14 mm |
7 mm | 10 mm | 14 mm |
14 mm |
| 扫描角度 | ± 20° | ± 22° | ± 22° |
± 20° | ± 22° | ± 22° |
± 20° | ± 22° | ± 22° |
± 22° |
| 常规标刻速度 1 (m/s) |
4.0 | 3.1 | 2.5 |
3.5 | 2.9 | 1.7 |
6.5 | 5.0 | 4.0 |
8 |
| 常规写入速度 1,2 (cps) |
1100 | 1000 | 890 |
1000 | 650 | 550 |
1350 | 1100 | 950 |
N/A |
| 阶跃响应 3,4 (µsec) |
185 | 220 | 280 |
230 | 340 | 360 |
185 | 220 | 280 |
360 |
| 重复精度 5,6 (µrad) |
20 | 16 | 12 |
15 | 15 | 12 |
30 | 25 | 20 |
2 |
| 命令解析 | 16 位 |
16 位 |
16 位 |
24 位 |
| 长期漂移 7,8 | 位置漂移：<200 µrad |
位置漂移：<100 µrad |
位置漂移：<200 µrad
|
10 µrad |
| 热漂移 | 位置漂移：<25 µrad/°C |
位置漂移：<20 µrad/°C |
位置漂移：<25 µrad/°C |
2 µrad |
| 模块化或封闭式 | 封闭式 |
封闭式 |
封闭式 |
模块化 |
| 数据表 | ProSeries 1 扫描振镜 | |||
| 注意： | 所有角度均为光学角度，除非另有说明。 1.160 mm F-Theta 聚焦镜头用于标记和打标速度测试。 2.单笔划 1 mm 字符、SIMPLEX 字体。 3.对于 ProSeries 和 LXP 扫描振镜：假定步长为全量程的 1%。 4.对于LightningTM II 扫描振镜：假定步长为 10 mrad。 5.对于 ProSeries 和 LXP 扫描振镜：平均值 <3 sigma（各轴）。 6.对于 LightningTM II 扫描振镜：RMS、各轴。 7.针对 ProSeries 和 LXP 扫描振镜： 预热 30 分钟之后，在操作 24 小时过程之中，各轴。 8.针对 LightningTM II 扫描振镜：预热 30 分钟之后，在操作 8 小时过程之中，各轴。 |
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| 产品 | ProSeries 2 |
LightningTM II |
| 特色 | 精度高；适用于大孔径应用。 |
加工精度和速度最高；位置分辨率达 24 位。 |
| 波长选项 | 355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 μm - 10.6 μm |
|
| 孔镜尺寸 | 20 mm | 25 mm |
20 mm | 25 mm | 27 mm | 30 mm |
| 扫描角度 | ± 20° | ± 15° |
± 20° | ± 17° | ± 18° | ± 22° |
| 常规处理速度 1 | 1.0 m/s | 0.9 m/s |
50 rad/sec |
| 阶跃响应 2,3 (µsec) |
800 | 900 |
370 | 360 | 450 | 550 |
| 命令解析 | 16 位 |
24 位 |
| 重复精度 4,5 (µrad) |
12 | 12 |
<1 |
| 长期漂移 6,7 | 位置漂移：<100 µrad |
10 µrad |
| 热漂移 | 位置漂移：<20 µrad/°C |
2 µrad opt/°C |
| 模块化或封闭式 | 封闭式 |
模块化 |
| 数据表 | ProSeries 2 大孔径扫描振镜 | |
| 注意： | 所有角度均为光学角度，除非另有说明。 1. 160 mm F-Theta 聚焦镜头用于标记和打标速度测试。 2.单笔划 1 mm 字符、SIMPLEX 字体。 3.对于 ProSeries 和 LXP 扫描振镜：假定步长为全量程的 1%。 4.对于LightningTM II 扫描振镜：假定步长为 10 mrad。 5.对于 ProSeries 和 LXP 扫描振镜：平均值 <3 sigma（各轴）。 6.对于 LightningTM II 扫描振镜：RMS、各轴。 7.针对 ProSeries 和 LXP 扫描振镜： 预热 30 分钟之后，在操作 24 小时过程之中，各轴。 8.针对 LightningTM II 扫描振镜：预热 30 分钟之后，在操作 8 小时过程之中，各轴。 |
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LightningTM II 扫描振镜具有最快的速度和最高的精度，适用于先进的工业与电子应用，如：激光钻孔、增材制造和精密微加工。LXP 系列针对高速打标、打码和标识进行了优化。 ProSeries 扫描振镜采用了我们独有的成熟的模拟技术控制，最适用于高精度标刻、划线、蚀刻和雕刻等应用。大孔径的扫描振镜产品适用于塑料焊接、微加工、钻孔等应用。我们所有的扫描振镜经过设计和优化，能够与 Cambridge Technology 控制器和软件完美结合使用。
