比類無き順応性・速度・精度・位置再現性
世界最高レベルの高速モータ・低ドリフト・長時間の位置安定性
高品質の走査性能を保証する優れた精密性・精度
広範囲にわたるミラーアパーチャサイズとミラーコーティング
狭いスペースでも容易なシステム設計を実現するコンパクトモデル
ハイエンドからコストパフォーマンスの高い製品まで幅広くラインナップ
製品一覧と仕様
製品名 | 62xxHシリーズXYガルバノスキャナ |
83xxKシリーズXYガルバノスキャナ |
特長 | コンパクトなデザイン・高い熱効率・長寿命ベアリングで狭いスペースでも高速スキャンを実現する高信頼性で高性能なソリューションを提供。 |
62xxHシリーズの利点に加え更に向上した低ノイズ・低ドリフト性能で高い位置安定性と分解能
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波長オプション | 355 nm / 532 nm / 1030 nm ~ 1080 nm / 9.4 μm ~ 10.6 μm |
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最大走査角 | 40° |
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小角度ステップ応答1 標準) |
100μs~200μs |
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リニアリティ | 99.9% minimum, 20°以上 |
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スケールドリフト (最大) |
50 ppm/°C |
15 ppm/°C |
ゼロドリフト (最大) |
15 μrad/°C |
5 μrad/°C |
繰り返し位置再現性 | 8 μrad |
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対応サーボドライバ | アナログシリーズ: 671, 672, 673 |
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ガルバノメータブロック外観図 | XYガルバノスキャナブロック外観図をダウンロードするにはこちらをクリックしてください。 | |
データシート | 62xxHシリーズ ガルバノスキャナ | 83xxKシリーズ ガルバノスキャナ | |
備考: | 角度は特記のない限りすべて機械角表記。 Cambridge Technologyのサーボドライバボードが必要となります。 |
製品名 | 62xxHシリーズXYガルバノスキャナ |
83xxKシリーズXYガルバノ |
特長 | ベクトルマーキングでのパフォーマンスを最適化。効率的なサイズ・高い信頼性そして優れたコストパフォーマンス。 |
精密な微細加工や高精度なマーキングアプリケーションにより高い精度と分解能を提供。 |
波長オプション | 355 nm / 532 nm / 1030 nm ~ 1080 nm / 9.4 μm ~ 10.6 μm |
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最大走査角 | 40° |
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ステップ応答1 (標準) |
250 μs~500 μs |
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アリティ | 99.9% Minimum, 20°以上 |
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リフト (最大) |
50 ppm/°C |
15 ppm/°C |
リフト (最大) |
15 μrad/°C |
5 μrad/°C |
返し精度 | 8 μrad |
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ボドライバ | アナログシリーズ: 671, 673
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タブロック外観図 | XYガルバノスキャナブロック外観図をダウンロードするにはこちらをクリックしてください。 | |
タシート | 62xxHシリーズ ガルバノスキャナ | 83xxKシリーズガルバノスキャナ | |
備考: | 角度は特記のない限りすべて機械角表記。 Cambridge Technologyのサーボボードが必要となります。 |
製品名 | 62xxHシリーズXYガルバノスキャナ |
83xxKシリーズXYガルバノスキャナ |
特長 | 加工系アプリケーションで高負荷の加工プロセスを確実に処理する業界トップレベルのソリューション。 |
広範囲フィールドサイズのアプリケーションや精密な材料加工に必要とされるより高い位置安定 |
波長オプション | 355 nm / 532 nm / 1030 nm ~ 1080 nm / 9.4 μm ~ 10.6 μm |
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最大走査角 | 40° |
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プ応答1 (標準) |
1 ms~5 ms |
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アリティ | 99.9% Minimum, 20°以上 |
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リフト (最大) |
50 ppm/°C |
15 ppm/°C |
リフト (最大) |
15 μrad/°C |
5 μrad/°C |
返し精度 | 8 μrad |
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ボドライバ | アナログシリーズ: 671, 673 |
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ガルバノメータブロック | XYガルバノスキャナブロック外観図をダウンロードするにはこちらをクリックしてください。 | |
タシート | 62xxHシリーズ ガルバノスキャナ | 83xxKシリーズ ガルバノスキャナ | |
備考: | 角度は特記のない限りすべて機械角表記。 Cambridge Technologyのサーボボードが必要となります。 |